Ju Byeong Kwon 박흥우 이덕중 PARK JEONG HO OH MYUNG HWAN 2024-01-13T16:00:29Z 2024-01-13T16:00:29Z 2021-09-29 2000-04 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/108587 MEMS 마이크로 터널링 센서의 제작 및 특성 평가 ( Ⅱ ) Conference 2 제 2 회 MEMS 학술대회, pp.145 - 153 제 2 회 MEMS 학술대회 145 153 KO