박윤권 Ju Byeong Kwon 전호승 Yoon Young Soo Oh Young-Jei LEE YUN HI SUH SANG HEE OH MYUNG HWAN 김철주 2024-01-13T17:00:36Z 2024-01-13T17:00:36Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109130 English pyroelectric sensor PZT film MEMSS micromachining Characteristic estimation of the formation and etching of PZT thin films for pyroelectric IR sensor application 초전형 적외선 센서 제작을 위한 PZT박막 형성 및 식각 특성 평가 Conference 2 1999년도 대한전기학회 하계학술대회 논문집, pp.3304 - 3306 1999년도 대한전기학회 하계학술대회 논문집 3304 3306 KO