김영우 조정희 LIM HYUN EUI HAN SEUNG HEE LEE YEON HEE 김곤호 2024-01-13T17:00:53Z 2024-01-13T17:00:53Z 2021-09-29 1999-07 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109146 plasma source ion implantation 시변환 쉬스 거동에 대한 탐침 전류 곡선의 해석 Conference 2 제 17 회 한국진공학회, pp.222 제 17 회 한국진공학회 222 222 KO