김민철 박근우 KANG HO KWAN 심태석 Moon Sung Wook 김도훈 OH MYUNG HWAN 2024-01-13T17:00:55Z 2024-01-13T17:00:55Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109148 English microbolometer vanadium oxide TCR A study for fabrication of microbolometer using by vanadium oxide thin films 산화 바나듐 박막을 이용한 마이크로 볼로미터 제조에 관한 연구 Conference 2 1999 제 1 회 MEMS 학술대회 논문집 = 1999 Proceedings of the 1st Korean MEMS conference, pp.241 - 247 1999 제 1 회 MEMS 학술대회 논문집 = 1999 Proceedings of the 1st Korean MEMS conference 241 247 KO