임재홍 PARK YONG-WOOK YOON SEOK JIN 정형진 Yoon Young Soo 2024-01-13T17:03:04Z 2024-01-13T17:03:04Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109278 English piezoresistivity poly-crystalline silicon pressure sensor diaphragm thickness A study on fabrication of piezoresistive pressure sensor based on poly-Si 벌크 마이크로 머쉬닝에 의한 다결정 실리콘 압력센서 제작 관한 연구 Conference 2 한국전기전자재료학회 '99 춘계학술대회 논문집, pp.677 - 680 한국전기전자재료학회 '99 춘계학술대회 논문집 677 680 KO