이덕중 Ju Byeong Kwon LEE YUN HI OH MYUNG HWAN 장진 2024-01-13T17:03:57Z 2024-01-13T17:03:57Z 2021-09-29 1999-04 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109337 FEA FED의 실장 공정 시 진공 효율 향상에 관한 연구 Conference 2 물리학회 춘계학술발표회, pp.201 물리학회 춘계학술발표회 201 201 KO