경제홍 CHO SEONG HOON HAN SUNG HAN 최승철 2024-01-13T17:04:36Z 2024-01-13T17:04:36Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109377 English AlN MOCVD single precursor Aluminum nitride thin film deposition using noble single precursor by MOCVD 유기금속화합물을 이용한 질화알루미늄(AlN) 박막 제조 Conference 2 1999년도 춘계총회, 초청·특별강연, 연구발표회, pp.102 1999년도 춘계총회, 초청·특별강연, 연구발표회 102 102 KO