KANG, HO KWAN KIM MIN CHEOL 하원호 Moon Sung Wook OH MYUNG HWAN 김도훈 2024-01-13T17:32:11Z 2024-01-13T17:32:11Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109493 English MEMS microbolometer surface micromachining SiNx VOx Fabrication of microbolometer using MEMS technology MEMS 기술을 이용한 마이크로 볼로미터의 제작 Conference 2 적외선 영상센서 Conference, v.10, pp.70 - 75 적외선 영상센서 Conference 10 70 75 KO