전은정 신영화 NAM SANG CHUL Cho Won Il SON BONG HEE Yoon Young Soo 2024-01-13T17:32:18Z 2024-01-13T17:32:18Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109500 English all solid state thin film micro-battery in-situ sputtering Fabrication and electrochemical characterization of all solid state thin film micro-battery by in-situ sputtering In-situ 스퍼터링을 이용한 마이크로 박막 전지의 제작 및 전지 특성 평가 Conference 2 한국전기전자재료학회 99 추계학술대회 논문집, pp.159 - 162 한국전기전자재료학회 99 추계학술대회 논문집 159 162 KO