채경수 Moon Sung Wook OH MYUNG HWAN PARK YOUNG KYUN Kim Seong Il PARK JEONG HO 2024-01-13T17:32:50Z 2024-01-13T17:32:50Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109535 English 초소형 광스위치 A modeling of electrostatic capacitance and moving force in comb actuator for controlling a micro-optical switch 초소형 광스위치 제어를 위한 comb 액츄에이터에서의 정전용량과 구동력 모델링 Conference 2 센서학회지, v.10, no.1, pp.193 - 197 센서학회지 10 1 193 197 KO