박윤권 Ju Byeong Kwon 박흥우 Yoon Young Soo Oh Young-Jei PARK JEONG HO SUH SANG HEE OH MYUNG HWAN 김철주 2024-01-13T17:33:12Z 2024-01-13T17:33:12Z 2021-09-29 1999-11 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109558 MEMS 비냉각 적외선 센서 제작을 위한 스퍼터링 방법에 의한 PZT 박막 형성 및 식각 특성 평가 Conference 2 제 10 회 적외선 영상센서 Conference 제 10 회 적외선 영상센서 Conference KO