이성준 Ju Byeong Kwon LEE YUN HI SUH SANG HEE Oh Young-Jei 김태윤 OH MYUNG HWAN 김철주 2024-01-13T17:33:13Z 2024-01-13T17:33:13Z 2021-09-29 1999-11 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109559 MEMS 비냉각 써모파일 적외선 센서의 제작 Conference 2 한국센서학회 종합학술대회 한국센서학회 종합학술대회 KO