Yoon Young Soo 2024-01-13T18:04:03Z 2024-01-13T18:04:03Z 2021-09-29 1999-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/109871 MEMS cantilever beam piezoelectricity surface micromachining 압전성 PZT 박막과 표면 마이크로머쉬닝 공정을 이용한 마이크로 칸틸레버 빔의 제작 및 그 문제점 Conference 2 1999 제1회 대한전기학회 MEMS 심포지움 논문집, v.1, no.1, pp.25 - 33 1999 제1회 대한전기학회 MEMS 심포지움 논문집 1 1 25 33 KO