박윤권 Ju Byeong Kwon 박흥우 PARK JEONG HO Sang-Seop Yom SUH SANG HEE OH MYUNG HWAN 김철주 2024-01-13T18:32:11Z 2024-01-13T18:32:11Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/110031 English MEMS Etching-bonding-thin film deposition process for MEMS-IR SENSOR application MEMS-IR SENSOR 용 식각 - 접합 - 박막증착 기반공정 Conference 2 대한전기학회 하계학술대회, pp.? 대한전기학회 하계학술대회 ? ? KO