박흥우 Ju Byeong Kwon 박윤권 PARK JEONG HO 김철주 Sang-Seop Yom SUH SANG HEE OH MYUNG HWAN 2024-01-13T18:33:04Z 2024-01-13T18:33:04Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/110084 English MEMS Si micromachining for MEMS-IR sensor application 결정의존성 식각/기판접합을 이용한 MEMS용 구조물의 제작 Conference 2 한국전기전자재료학회 춘계학술대회 논문집 = Proceedings of the Spring Symposium of KIEEME, pp.411 - 414 한국전기전자재료학회 춘계학술대회 논문집 = Proceedings of the Spring Symposium of KIEEME 411 414 KO