이덕중 Ju Byeong Kwon LEE YUN HI 정지원 장진 OH MYUNG HWAN 2024-01-13T18:34:30Z 2024-01-13T18:34:30Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/110177 English MEMS Patterning 된 전극을 이용한 4 인치 Glass-to-Silicon wafer 의 정전 열 접합 . Conference 2 물리학회회보 = Bulletin of the Korean Physical Society, v.v. 16, no.no. 1, pp.202 물리학회회보 = Bulletin of the Korean Physical Society v. 16 no. 1 202 202 KO