정지원 Ju Byeong Kwon CHOI DOO JIN OH MYUNG HWAN 2024-01-13T19:00:55Z 2024-01-13T19:00:55Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/110215 English MEMS Silicon-to-silicon electrostatic bonding using lithia-silicate glass interlayer 리튬이 도핑된 박막을 이용한 실리콘 정전 열 접합 Conference 2 한국요업학회 춘계연구발표회, pp.92 한국요업학회 춘계연구발표회 92 92 KO