Ju Byeong Kwon 박재석 CHUNG MOONKYO Sang-Seop Yom SUH SANG HEE 장진 OH MYUNG HWAN 2024-01-13T20:34:24Z 2024-01-13T20:34:24Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/111227 English MEMS intergrated sensor micromechanical structure Fabrication of micromechanical structures for integrated IR sensor application Integrated IR sensor 용 마이크로 구조물 제작 Conference 2 한국물리학회 가을 학술논문발표회 논문초록집 , 광운대, pp.306 한국물리학회 가을 학술논문발표회 논문초록집 , 광운대 306 306 KO