Oh In Hwan Lim Tae Hoon 허정수 JEON BUP JU 정일현 2024-01-13T21:34:08Z 2024-01-13T21:34:08Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/111747 English Effect of silicon orientation on the electrical properties of SiO//2 using oxygen plasma. 실리콘의 Orientation 이 산소 플라즈마에 의해 제조된 실리콘 산화막의 전기적 특성에 미치는 영향 = Conference 2 Theories and applications of chem. res., v.v. 2, no.no. 2, pp.2595 - ? Theories and applications of chem. res. v. 2 no. 2 2595 ? KO