Jung Woo Sang 김병준 최길현 LEE SUNG MIN 고영범 2024-01-13T22:00:25Z 2024-01-13T22:00:25Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/111786 English H//2O emission from SOG The effect of H//2O from SOG on the reliability of sub-micron vias. Conference 1 제 56 회 응용물리학회 학술강연회 , Kanazawa, v.Process 기술 B, pp.? 제 56 회 응용물리학회 학술강연회 , Kanazawa Process 기술 B ? ? JA