KPARK KYUNG HYUN Byun Young Tae Kim Young Hwan Kim Sun Ho CHOI SANG SAM 조욱래 박승한 김웅 2024-01-13T22:01:51Z 2024-01-13T22:01:51Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/111871 Korean 이온 빔 보조 식각 방법(IBAE) ECR 이온 식각법 MBE 성장 기법 저손실 광도파로 이온 빔 보조 식각 방법을 이용한 GaAs/AlGaAs 저손실 광도파로의 제작 . Conference 2 Photonics Coference '95, pp.253 - 254 Photonics Coference '95 253 254 KO