Kim Yong Tae H. S. Yoon C. S. Kwon H. N. Lee J. Jang Min Suk-Ki 2024-01-13T22:04:00Z 2024-01-13T22:04:00Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/112000 English Characteristics of RuOx thin films as a sacrificial diffusion barrier for Cu metallization Conference 2 한국물리학회 제71회 학술논문발표회 한국물리학회 제71회 학술논문발표회 KO