Bae Gwi-Nam 안강호 2024-01-13T22:04:18Z 2024-01-13T22:04:18Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/112017 English particle deposition 입자침착 회전웨이퍼 입자침착속도 회전속도 A study on the particle deposition toward a rotating wafer surface. 회전 웨이퍼상의 입자침착에 관한 연구 = Conference 2 대한기계학회 1995 년도 추계학술대회논문집 (II)., pp.350 - 354 대한기계학회 1995 년도 추계학술대회논문집 (II). 350 354 KO