Kim Yong Tae 권철순 김동준 Min Suk-Ki 2024-01-13T22:04:25Z 2024-01-13T22:04:25Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/112024 Korean 질소이온 주입된 질화텅스텐박막의 구리배선용 확산방지막 특성 . Conference 2 제 2 회 한국반도체학술대회, pp.? 제 2 회 한국반도체학술대회 ? ? KO