KPARK KYUNG HYUN Byun Young Tae Kim Sun Ho CHOI SANG SAM 2024-01-13T23:02:08Z 2024-01-13T23:02:08Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/112423 Korean 레이저 리소그라피 시스템 negative 마스크 제작법 negative PR image revesal 기술 lift-off 방법 레이저 리소그라피 시스템을 이용한 새로운 negative 마스크 제작법 . Conference 2 한국물리학회 논문초록집, v.10, no.2, pp.363 한국물리학회 논문초록집 10 2 363 363 KO