Ju Byeong Kwon LEE YUN HI OH MYUNG HWAN KIM Hyoung Gon 2024-01-13T23:32:44Z 2024-01-13T23:32:44Z 2021-09-29 1989-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/112724 N₂H₄-H₂O 용액의 최적 식각 조건을 이용한 Si diaphragm의 제작 Conference 2 전기학회 하계학술대회 , 전기연구소 ., pp.? 전기학회 하계학술대회 , 전기연구소 . ? ? KO