전영민 2024-01-19T14:04:12Z 2024-01-19T14:04:12Z 2022-01-10 2021-07 2586-5110 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/116709 Korean 한국광학회 EUV 리소그래피 기술의 역사적 발전과 미래전망 Article 2 K-light, v.4, no.3, pp.40 - 46 K-light 4 3 40 46 N other EUV 리소그래피 13.5nm ASML