추성중 박정호 신현준 2024-01-20T19:32:38Z 2024-01-20T19:32:38Z 2021-10-21 2010-04 1229-6368 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/131566 평판형 rib 도파로의 설계 및 공정기술을 바탕으로 632.8 nm에서 동작하는 집적 마흐젠더 간섭계 센서(Mach-Zehnder interferometric sensor)를 제작하였다. 단일모드와 높은 감도의 두 가지 조건을 고려하여 실리카 계열(SiO2-SiOxNy-SiO2) rib 도파로를 설계하였고 박막증착, 사진제판, RIE (Reactive Ion Etching)와 같은 반도체 공정들을 이용해 그 기하학적 구조를 구현하였다. 제작된 rib 도파로의 광출력을 cut-back방법으로 분석한 결과, 약 4.82 dB/cm의 전파손실을 측정하였다. 동시에 크롬 식각방지 층 공정을 도입하여 마흐젠더 간섭계 칩 위에 감지영역(sensing zone)을 형상화할 때 발생하는 코어 층 손상을 방지하였다. 제작된 마흐젠더 간섭계 센서를 이용한 증류수/에탄올 혼합물 굴절률 측정실험을 통해 약 π/(4.04×10-3)의 소자 감도(sensitivity)를 최종 확인하였다. Korean 대한전자공학회 Rib 도파로 기반 집적 마흐젠더 간섭계 센서 An Integrated Mach-Zehnder Interferometric Sensor based on Rib Waveguides Article 2 전자공학회논문지 - SD, v.47, no.4, pp.20 - 25 전자공학회논문지 - SD 47 4 20 25 kci ART001441506 Rib waveguides Propagation loss Chromium mask Mach-Zehnder interferometric sensor