조경선 윤성호 정훈 채수호 임광영 김영욱 박상환 2024-01-20T22:01:43Z 2024-01-20T22:01:43Z 2022-01-10 2009-02 1226-976X https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/132755 반도체 제조 공정용 SiC 소재 기술 Article 2 세라미스트, v.12, no.1, pp.33 - 48 세라미스트 12 1 33 48