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<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Park,&#x20;Dong-Hee</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Kim,&#x20;Ji-Hwan</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Ermakov,&#x20;Yury</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Choi,&#x20;Won-Kook</dcvalue>
<dcvalue element="date" qualifier="accessioned">2024-01-21T00:01:03Z</dcvalue>
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<dcvalue element="description" qualifier="abstract">Ion&#x20;source&#x20;with&#x20;closed&#x20;drift,&#x20;which&#x20;is&#x20;caused&#x20;by&#x20;E&#x20;x&#x20;B&#x20;field,&#x20;and&#x20;extended&#x20;acceleration&#x20;region&#x20;is&#x20;discussed.&#x20;Though&#x20;conventional&#x20;circular-type&#x20;closed&#x20;drift&#x20;ion&#x20;source&#x20;has&#x20;advantages&#x20;of&#x20;high&#x20;efficiency&#x20;of&#x20;gas&#x20;ionization&#x20;and&#x20;low&#x20;ion&#x20;beam&#x20;energy,&#x20;there&#x20;is&#x20;a&#x20;limitation&#x20;in&#x20;enlarging&#x20;the&#x20;beam&#x20;size.&#x20;Linear&#x20;ion&#x20;source&#x20;with&#x20;horse-track&#x20;shape&#x20;with&#x20;270&#x20;mm&#x20;ceramic&#x20;channel&#x20;width&#x20;is&#x20;newly&#x20;designed&#x20;and&#x20;tested.&#x20;Inert&#x20;gas&#x20;(Ar)&#x20;and&#x20;reactive&#x20;gas&#x20;(O(2))&#x20;are&#x20;discharged.&#x20;Discharge&#x20;is&#x20;ignited&#x20;with&#x20;voltage&#x20;of&#x20;90&#x20;V.&#x20;Discharge&#x20;current&#x20;is&#x20;proportional&#x20;to&#x20;discharge&#x20;voltage&#x20;and&#x20;increases&#x20;up&#x20;to&#x20;16.3&#x20;A&#x20;in&#x20;argon&#x20;and&#x20;15.6&#x20;A&#x20;in&#x20;oxygen&#x20;at&#x20;discharge&#x20;voltage&#x20;of&#x20;320&#x20;V.&#x20;Extracted&#x20;ion&#x20;beam&#x20;current&#x20;is&#x20;also&#x20;proportional&#x20;to&#x20;discharge&#x20;voltage&#x20;and&#x20;is&#x20;saturated&#x20;after&#x20;280&#x20;V&#x20;for&#x20;both&#x20;gases.&#x20;It&#x20;is&#x20;measured&#x20;up&#x20;to&#x20;0.78&#x20;mA&#x2F;cm(2)&#x20;in&#x20;argon&#x20;beam&#x20;and&#x20;0.73&#x20;mA&#x2F;cm(2)&#x20;in&#x20;oxygen&#x20;beam&#x20;at&#x20;a&#x20;distance&#x20;of&#x20;100&#x20;mm&#x20;from&#x20;the&#x20;ion&#x20;source.&#x20;Argon&#x20;ion&#x20;beam&#x20;shows&#x20;better&#x20;space&#x20;uniformity&#x20;than&#x20;oxygen&#x20;across&#x20;the&#x20;beam&#x20;extraction&#x20;region.&#x20;(c)&#x20;2008&#x20;American&#x20;Institute&#x20;of&#x20;Physics.</dcvalue>
<dcvalue element="language" qualifier="none">English</dcvalue>
<dcvalue element="publisher" qualifier="none">AMER&#x20;INST&#x20;PHYSICS</dcvalue>
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<dcvalue element="title" qualifier="none">Linear&#x20;ion&#x20;source&#x20;with&#x20;closed&#x20;drift&#x20;and&#x20;extended&#x20;acceleration&#x20;region</dcvalue>
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<dcvalue element="identifier" qualifier="doi">10.1063&#x2F;1.2821507</dcvalue>
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<dcvalue element="identifier" qualifier="bibliographicCitation">REVIEW&#x20;OF&#x20;SCIENTIFIC&#x20;INSTRUMENTS,&#x20;v.79,&#x20;no.2</dcvalue>
<dcvalue element="citation" qualifier="title">REVIEW&#x20;OF&#x20;SCIENTIFIC&#x20;INSTRUMENTS</dcvalue>
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