박상환 이동윤 한재호 윤성호 조경선 2024-01-21T00:34:24Z 2024-01-21T00:34:24Z 2022-01-10 2007-08 1226-976X https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/134216 반도체 제조공정용 탄화규소 부품/소재 기술 Article 2 세라미스트, v.10, no.4, pp.38 - 53 세라미스트 10 4 38 53 반도체 공정 탄화규소