장희연 박종극 이욱성 백영준 임대순 정증현 2024-01-21T01:04:51Z 2024-01-21T01:04:51Z 2022-01-10 2007-04 1225-8024 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/134474 Korean 한국표면공학회 입방정 질화붕소 박막의 잔류응력 형성에 미치는 산소 첨가 효과 Effect of Oxygen Addition on Residual Stress Formation of Cubic Boron Nitride Thin Films Article 2 한국표면공학회지, v.40, no.2, pp.32 - 97 한국표면공학회지 40 2 32 97 N kci ART001187763 residual stress nucleation Cubic boron nitride oxygen addition