이승훈 추성일 김진혁 한동철 문성욱 2024-01-21T01:06:45Z 2024-01-21T01:06:45Z 2022-01-10 2007-03 1738-9895 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/134552 한국신뢰성학회 Reliable design and electrical characteristics of vertical MEMS probe tip 수직형 MEMS 프로브 팁의 신뢰성 설계 및 전기적 특성평가 Article 2 한국신뢰성학회지: 신뢰성응용연구, v.7, no.1, pp.23 - 29 한국신뢰성학회지: 신뢰성응용연구 7 1 23 29 reliable design probe MEMS contact resistance