이병철 문성욱 2024-01-21T02:05:34Z 2024-01-21T02:05:34Z 2022-01-10 2006-10 1226-7937 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/135040 한국전기전자재료학회 Bio-Mems ; 나노바이오센서 / 칩 Article 3 전기전자재료, v.19, no.10, pp.3 - 17 전기전자재료 19 10 3 17 나노바이오센서 나노바이오칩 DNA칩 단백질칩 세포칩 랩온어칩 나노입자 센서 나노와이어 센서 캔티레버 센서 광간섭 센서