신상원 이종한 이성구 이재용 황정남 최인훈 이관희 정원용 문현찬 김태곤 송종한 2024-01-21T03:42:03Z 2024-01-21T03:42:03Z 2021-09-06 2006-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/135834 양극 산화된 알루미나 (anodized aluminum oxide : AAO)는 균일하고 일정한 크기의 나노 기공 패턴을 지니고 있다. AAO를 이온빔 나노 patterning을 위한 이온조사 시 마스크로서 이용하기 위해 AAO 나노 기공을 통과하는 이온빔의 투과율(AAO에 입사한 이온에 대한 투과이온의 양의 비)을 측정하였다. Al bulk foil을 양극 산화하여 두께가 4 μm이고 종횡비(두께와 기공의 지름의 비)가 각각 200:1, 100:1 인 AAO를 Goniometer에 부착하여 500 keV의 O2+ 이온빔에 대해 나노기공을 정렬시킨 후, 기울임 각에 따른 투과율을 측정한 결과, 종횡비가 200:1, 100:1 일 때 투과율은 각각 약 10-8, 10-4로 거의 이온빔이 투과하지 못하였다. 반면에 SiO2 위에 증착된 Al 박막으로 양극산화하여 종횡비가 5:1인 AAO의 이온빔 투과율은 0.67로 투과율이 현저히 향상되었다. 높은 종횡비를 갖는 AAO의 경우에는 빔과 AAO 기공의 정렬이 쉽지 않은데다 알루미나의 비전도성으로 인한 charge-up 현상으로 인해 이온빔이 극히 투과하기 어렵기 때문이다. 실제로 80 keV의 Co 음이온을 종횡비 5:1인 AAO에 조사시킨 후에는 AAO 나노기공과 동일한 크기의 나노 구조체가 형성됨을 주사전자현미경(scanning electron microscopy: SEM) 관찰을 통하여 확인하였다. 한국진공학회 이온빔 나노 패터닝을 위한 양극산화 알루미나의 이온빔 투과 Ion Transmittance of Anodic Alumina for Ion Beam Nano-patterning Article 3 Applied Science and Convergence Technology, v.15, no.1, pp.97 - 102 Applied Science and Convergence Technology 15 1 97 102 ART001204769 양극산화 알루미나 나노 패터닝 이온빔 투과율 Anodic alumina Nanopatterning Ionbeam Transmittance