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<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Park,&#x20;JY</dcvalue>
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<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Ermakov,&#x20;YA</dcvalue>
<dcvalue element="contributor" qualifier="author">Choi,&#x20;WK</dcvalue>
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<dcvalue element="description" qualifier="abstract">A&#x20;stationary&#x20;plasma&#x20;thruster&#x20;(SPT)-type&#x20;source&#x20;with&#x20;high&#x20;plasma&#x20;density&#x20;is&#x20;introduced&#x20;and&#x20;its&#x20;physical&#x20;principle&#x20;and&#x20;structure&#x20;are&#x20;briefly&#x20;summarized.&#x20;As&#x20;general&#x20;characteristic&#x20;performance&#x20;of&#x20;the&#x20;gridless&#x20;SPT&#x20;plasma&#x20;source,&#x20;ion&#x20;current&#x20;density,&#x20;its&#x20;angular&#x20;distributions&#x20;and&#x20;distribution&#x20;of&#x20;ions&#x20;over&#x20;energies&#x20;for&#x20;three&#x20;working&#x20;gases&#x20;of&#x20;Ar,&#x20;N-2&#x20;and&#x20;O-2&#x20;was&#x20;examined&#x20;and&#x20;also&#x20;compared&#x20;with&#x20;that&#x20;of&#x20;a&#x20;conventional&#x20;Kaufman-type&#x20;grid&#x20;ion&#x20;source.&#x20;In&#x20;order&#x20;to&#x20;investigate&#x20;the&#x20;possible&#x20;application&#x20;of&#x20;SPT&#x20;for&#x20;the&#x20;surface&#x20;modification,&#x20;polymer&#x20;and&#x20;ceramic&#x20;surfaces&#x20;are&#x20;irradiated&#x20;by&#x20;the&#x20;low&#x20;energy&#x20;and&#x20;high&#x20;fluence&#x20;ion&#x20;beam&#x20;generated&#x20;from&#x20;SPT.&#x20;The&#x20;wetting&#x20;angle&#x20;of&#x20;polyimide&#x20;is&#x20;greatly&#x20;reduced&#x20;from&#x20;78&#x20;degrees&#x20;to&#x20;2-4&#x20;degrees&#x20;by&#x20;the&#x20;irradiation&#x20;of&#x20;reactive&#x20;O-2(+)&#x20;and&#x20;N2O+&#x20;ions&#x20;with&#x20;an&#x20;average&#x20;energy&#x20;of&#x20;180&#x20;eV.&#x20;Furthermore&#x20;when&#x20;alpha-Al2O3&#x20;(0001)&#x20;is&#x20;irradiated&#x20;by&#x20;N-2(+)&#x20;ion&#x20;of&#x20;SPT&#x20;source&#x20;at&#x20;various&#x20;ion&#x20;fluences,&#x20;the&#x20;formation&#x20;of&#x20;new&#x20;Al-ON&#x20;and&#x20;Al-N&#x20;chemical&#x20;bonding&#x20;are&#x20;identified&#x20;by&#x20;X-ray&#x20;photoelectron&#x20;spectroscopy.&#x20;From&#x20;the&#x20;results,&#x20;it&#x20;is&#x20;revealed&#x20;that&#x20;the&#x20;SPT&#x20;can&#x20;be&#x20;used&#x20;as&#x20;an&#x20;effective&#x20;ion&#x20;source&#x20;for&#x20;the&#x20;enhancement&#x20;of&#x20;surface&#x20;energy&#x20;of&#x20;polymer&#x20;and&#x20;for&#x20;the&#x20;formation&#x20;of&#x20;functional&#x20;groups&#x20;on&#x20;ceramic&#x20;surface.&#x20;(c)&#x20;2005&#x20;Elsevier&#x20;B.V.&#x20;All&#x20;rights&#x20;reserved.</dcvalue>
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<dcvalue element="identifier" qualifier="bibliographicCitation">NUCLEAR&#x20;INSTRUMENTS&#x20;&amp;&#x20;METHODS&#x20;IN&#x20;PHYSICS&#x20;RESEARCH&#x20;SECTION&#x20;B-BEAM&#x20;INTERACTIONS&#x20;WITH&#x20;MATERIALS&#x20;AND&#x20;ATOMS,&#x20;v.239,&#x20;no.4,&#x20;pp.440&#x20;-&#x20;450</dcvalue>
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