김연석 2024-01-21T04:35:45Z 2024-01-21T04:35:45Z 2021-09-06 2005-08 1229-1935 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/136238 전자싸이크로트론공명(ECR: Electro Cyclotron Resonance) 상온화학증착법에 의해 PET 폴리머기판위에 SnOX 박막을 제조하고, Sn의 전구체인 TMT(Tetra-methyl Tin)에 대한 산소와 수소의 몰 비 변화가 박막의 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 비화학양론적인 결합에 의해 성장된 투명 주석 산화막은 주입되는 산소/TMT, 수소/TMT 몰 비에 의하여 조성비가 결정되고, 결정된 조성비에 의해 전기적 성질이 결정되는 것을 확인할 수 있었다. 산소/TMT의 몰 비 변화에 대하여 PET(polyethylene terephthalate)에 증착된 SnOX 박막의 최적 조성비는 1:2.4이다. 조성비는 반응에 참가하는 산소의 양이 증가할수록 점차적으로 증가하고, 과량의 몰 비로 산소가 주입될 경우 박막내의 Sn과 결합하지 않고 잉여 산소전하밀도를 증가시켜 bulk한 박막을 형성해 전기 비저항을 증가시키는 주요 원인이 된다. 수소/TMT의 몰 비는 산 소 몰 비와 같이 증착되는 SnOX의 몰 비에 영향을 주어 조성비를 변화시킴으로서 전기비저항을 결정하는데 크게 기 여한다. 반응기내에 공급되는 수소량이 적으면 TMT의 불완전한 분해를 초래하여 반응에 필요한 Sn+ 이온농도가 낮아 지게 되고, 상대적으로 잉여 산소함량이 증가하면서 높은 저항을 나타낸다. 임계값 이상으로 많은 양의 수소를 공급하 면 플라즈마 내에 존재하는 O- 이온을 환원시켜 주석 산화막의 형성에 필요한 O- 이온의 감소로 전기저항이 오히려 증가하게 된다. 따라서 박막의 Sn:O의 조성비는 주입되는 산소량이 증가할수록 더욱 큰 값을 갖게 되고, 주입되는 수 소량이 증가할수록 작은 값을 갖게 된다. 본 연구범위에서 TMP에 대한 산소의 몰 비는 80배, 수소의 몰 비는 40배 일 때 가장 투명도와 전기전도도를 지니는 박막 특성을 나타내었다. Korean 한국전기화학회 반응가스조성이 PET기판위에 ECR 화학증착법에 의해 제조된 SnO2 박막특성에 미치는 영향 Reaction Gas Composition Dependence on the Properties of SnO2 Films on PET Substrate by ECR-MOCVD Article 2 전기화학회지, v.8, no.3, pp.139 - 145 전기화학회지 8 3 139 145 kci ART001790026 SnOX PET ECR-MOCVD Composition ratio Transmittance Resistivity.