이준섭 신현준 문성욱 송석호 김태엽 2024-01-21T07:40:55Z 2024-01-21T07:40:55Z 2022-01-10 2004-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/137954 Fabrication of 3-D structures by inclined and rear-side exposures 선택적 경사 노광과 후면 노광에 의한 3차원 구조물의 제작 Article 3 한국전기학회논문지, v.53, pp.47 - 52 한국전기학회논문지 53 47 52 선택위치노광 경사노광 후면노광 반사방지막 SU-8 V-groove