강유리 김용국 김수원 주병권 2024-01-21T07:44:39Z 2024-01-21T07:44:39Z 2022-01-10 2003-12 1226-7945 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138021 Korean 한국전기전자재료학회 Flexible 마이크로시스템을 위한 압전 박막 공진기의 설계 및 제작 Design and Fabrication of Film Bulk Acoustic Resonator for Flexible Microsystems Article 2 전기전자재료학회논문지, v.16, no.12S 전기전자재료학회논문지 16 12S N kci ART001001420 FBAR Flexible microsystems Thin wafer