이영재 박호영 조병원 조원일 김광범 2024-01-21T08:04:14Z 2024-01-21T08:04:14Z 2022-01-10 2003-11 1229-1935 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138103 Korean 한국전기화학회 바이어스 스퍼터링 법으로 제조된 LiCoO2 박막 I. 전기화학적 특성 LiCoO2 Thin Film Deposited by Bias Sputtering Method I. Electrochemical Characteristics Article 2 전기화학회지, v.6, no.4, pp.261 - 265 전기화학회지 6 4 261 265 N kci other ART000878324 LiCoO2 Thin film Substrate bias Sputtering Microbatteries