변영태 김형권 김태곤 2024-01-21T08:07:24Z 2024-01-21T08:07:24Z 2022-01-10 2003-10 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138162 Experimental study of hydrogen-ion implantation for SOI fabrication SOI 제작을 위한 수소 이온 주입에 대한 실험적 고찰 Article 3 새물리, v.v. 47, no.no. 4, pp.266 - 272 새물리 v. 47 no. 4 266 272 Smart-cut 이온주입 실리콘 절연체 SOI