김두인 안효석 최동훈 2024-01-21T08:08:08Z 2024-01-21T08:08:08Z 2022-01-10 2003-10 2713-8011 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138176 Korean 한국트라이볼로지학회 실리콘 표면에 흡착된 수분층의 나노트라이볼로지 거동 Nanotribological Behavior of Adsorbed Water Layer on Silicon Surface Article 2 한국트라이볼로지학회지, v.19, no.5, pp.245 - 250 한국트라이볼로지학회지 19 5 245 250 N kci ART000873848 microsystem humidity adsorption layer capillary force shear stress