손창식 백종협 김성일 박용주 김용태 최훈상 최인훈 2024-01-21T08:31:50Z 2024-01-21T08:31:50Z 2022-01-10 2003-08 1225-0562 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138335 Korean 한국재료학회 단일 공정에 의한 고효율 단일모드 반도체 레이저 구조 제작을 위한 고밀도 양자 나노구조 형성 High-density quantum nanostructure for single mode distributed feedback semiconductor lasers by one-step growth Article 2 한국재료학회지, v.13, no.8, pp.485 - 490 한국재료학회지 13 8 485 490 N kci other submicron grating GaAs MOCVD holography e-beam lithography