김성일 김영환 2024-01-21T08:33:04Z 2024-01-21T08:33:04Z 2022-01-10 2003-08 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138358 저압 MOCVD 장치를 이용하여 선택적 에피 성장 (selective area epitaxy) 기술을 개발하고, 이 기술을 이용하여 InGaAs/GaAs 양자세선(quantum wire) 구조를 성장하였다. SiO2로 선택적으로 마스킹 된 GaAs 기판위에 AlGaAs/ GaAs 다층 구조 및 InGaAs/GaAs 양자세선 구조를 저압 MOCVD 방법으로 성장하였다. 매끄러운 사면을 갖고 끝 부분이 뾰쪽한 삼각형 구조의 양자세선 구조가 선택적 에피 성장법에 의해 자발적으로 형성되었다. 선택적 에피층 성장을 위한 최적 조건을 알기 위해 먼저 GaAs/AlGaAs 다층구조에 대하여 여러 가지 성장변수들에 대하여 조사하였다. 성장 변수들은 성장률(growth rate), V/III 비 및 성장온도, 패턴의 정렬 방향 등이다. 양자세선에서 나오는 발광은 975 nm로 분석되었다. 측정 온도가 증가됨에 따라 삼각형 구조의 사면의 양자우물에서 나오는 발광은 급격하게 감소하였다. 그러나 양자세선에서 나오는 발광은 양자우물에서 나오는 발광에 비해 서서히 감소하였고, 50 K 이상의 온도에서는 양자세선에서 나오는 발광의 세기가 더 커졌다. 한국진공학회 선택적 에피 성장법에 의한 GaAs/AlGaAs 다층구조 및 InGaAs/GaAs 양자세선의 성장 및 photoluminescence 연구 Selectively Grown AlGaAs/GaAs Multilayers and InGaAs/GaAs Quantum Wire Structures Grown by Low Pressure MOCVD Article 3 Applied Science and Convergence Technology, v.12, no.2, pp.118 - 122 Applied Science and Convergence Technology 12 2 118 122 ART000986986 Selective Area Epitaxy quantum wire low pressure MOCVD SEM Selective Area Epitaxy quantum wire low pressure MOCVD SEM 선택적 에피 성장법 양자세선 저압 MOCVD 주사전자현미경