박전웅 김익수 김성일 김용태 성만영 2024-01-21T08:40:13Z 2024-01-21T08:40:13Z 2022-01-10 2003-06 1226-9360 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138486 Korean 한국마이크로전자및패키징학회 Pt/SBT/Si, Pt/SBT/Pt 강유전체 게이트 구조에서 수소 열화 현상 및 IR 게이트 전극에 의한 열화 방지 방법 Hydrogen Degradation of Pt/SBT/Si, Pt/SBT/Pt Ferroelectric Gate Structuresand Degradation Resistance of Ir Gate Electrode Article 2 마이크로전자 및 패키징학회지, v.10, no.2, pp.8 - 54 마이크로전자 및 패키징학회지 10 2 8 54 N kci other ART000863779 hydrogen annealing Bi-layered perovskite interface trap