노대호 김재수 변동진 양재웅 김나리 2024-01-21T08:40:26Z 2024-01-21T08:40:26Z 2022-01-10 2003-06 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138490 Growth of SiC nanorods using Fe and hexamethyldisilabutane Fe와 hexamethyldisilabutane를 이용한 SiC 나노로드의 성장 Article 3 한국표면공학회지 = J. Kor. Inst. Surf. Eng., v.36, no.3, pp.234 - 241 한국표면공학회지 = J. Kor. Inst. Surf. Eng. 36 3 234 241 SiC nanorod VLS HMDS CVD Fe