안준양 김대은 최진용 신경호 2024-01-21T09:05:35Z 2024-01-21T09:05:35Z 2022-01-10 2003-04 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138663 Friction properties of carbon coated ultra-thin film using Taguchi experimental design 다구찌 실험계획법을 이용한 탄소코팅 초박막의 마찰 특성 Article 3 한국정밀공학회지, v.20, no.4, pp.143 - 150 한국정밀공학회지 20 4 143 150 deposition condition Relative humidity Taguchi experimental design Ultra-thin carbon coating film