문성욱 2024-01-21T09:07:18Z 2024-01-21T09:07:18Z 2022-01-10 2003-04 1227-741X https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138695 미국 서부의 마이크로 / 나노 기술 동향 Article 3 월간 반도체, v.v. 4, pp.31 - 42 월간 반도체 v. 4 31 42 마이크로 나노 기술