문성욱 2024-01-21T09:10:58Z 2024-01-21T09:10:58Z 2022-01-10 2003-03 1227-741X https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138761 EU의 마이크로 / 나노 기술 동향 Article 3 월간 반도체, v.v. 3, pp.34 - 50 월간 반도체 v. 3 34 50 마이크로 나노 기술