박윤권 주병권 2024-01-21T09:11:11Z 2024-01-21T09:11:11Z 2022-01-10 2003-03 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/138765 IEEE MEMS'03 학회 분석 보고 . Article 3 월간전자부품, pp.2 - 6. 월간전자부품 2 6.